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制藥用工業(yè)超純水機系統設備主要由制備單元和儲備與分配系統兩部分組成，制藥用蒸汽系統則主要由制備單元和分配系統兩部分組成，這兩部分系統是相似的。其中，制備單元主要包括軟化水機、純化水機、高純水機、蒸餾水機及純蒸汽發(fā)生器。